电子气痕量气体分析仪
  • 电子气痕量气体分析仪

电子气痕量气体分析仪

电子气痕量气体分析仪
MGA-8000多组分痕量气体分析仪,是基于离轴积分腔输出光谱技术(OA-ICOS)开发的一款高精度、高灵敏度的痕量气体分析仪。

MGA-8000多组分痕量气体分析仪,是基于离轴积分腔输出光谱技术(OA-ICOS)开发的一款高精度、高灵敏度的痕量气体分析仪。 

 设备采用红外激光离轴入射至高精度腔室,有效光程高达几千米,极大地提高了探测极限,结合独特的内部温度和 压力控制技术,为客户提供超稳定的测量,适用于电子气体生产应用领域的分析检测,检测方法及技术与国际接轨。

检测组分:

  •  分析仪可对大部分电子气及其杂质组分进行检测。

性能特点:

仪器特点:

  • ppb级别的灵敏度、精度和准确度 
  • 可同时检测多种气体,集中控制,智能化管理 
  • 单线光谱技术,不受背景气体交叉干扰影响 
  • 动态量程测量范围,可兼顾大、小量程 
  • 检测限低、灵敏度高、漂移小
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